環境用標準ガスカタログ
環境用純ガス（Purity Gases）
| 製品名 | 環境用純窒素 | 環境用純ヘリウム | |
| 化学式 Chemical Formula | N2 | He | |
| 純度 Purity | ＞99.99995 % | ＞99.99995 % | |
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不純物 Impurity |
N2 | — | ＜0.1 ppm |
| O2 | ＜0.1 ppm | ＜0.05 ppm | |
| CO | ＜0.1 ppm | ＜0.02 ppm | |
| CO2 | ＜0.1 ppm | ＜0.02 ppm | |
| THC | ＜0.05 ppm | ＜0.01 ppm | |
| NOx | ＜0.01 ppm | — | |
| SO2 | ＜0.01 ppm | — | |
| H2O | ＜-80 ℃ | ＜-80 ℃ | |
| TO-14成分 |
各成分 ＜10 ppt 但し、フロン−１１３及びトルエンは ＜100 ppt |
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| 容器 Cylinder | Mn鋼 47 L | ||
| 圧力 Pressure | 14.7 MPa | ||
