同じガス種であってもニーズにより仕様が異なりますので、別途ご相談下さい。
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成分ガス名 Components |
化学式 Chemical Formula |
容量濃度 Volume Concentration |
代表的な混合例 | |||
(1) | (2) | (3) | |||||
1 | 二酸化炭素 | Carbon dioxide | CO2 |
230ppm 〜 450ppm |
○ | ○ | |
2 | メタン | Methane | CH4 |
1.5ppm 〜 2.5ppm |
○ | ○ | |
Base | 精製空気 | Refinement Air | — | — | Base | Base | Base |
# |
成分ガス名 Components |
化学式 Chemical Formula |
容量濃度 Volume Concentration |
代表的な混合例 | |||
(1) | (2) | (3) | |||||
1 | 二酸化炭素 | Carbon dioxide | CO2 |
230ppm 〜 450ppm |
○ | ○ | ○ |
2 | アルゴン | Argon | Ar |
0.93% 〜 0.95% |
○ | ||
3 | メタン | Methane | CH4 |
1.5ppm 〜 2.5ppm |
○ | ○ | |
4 | 一酸化炭素 | Carbon monoxide | CO |
100ppb 〜 500ppb |
○ | ||
5 | 水素 | Hydrogen | H2 |
300ppb 〜 1000ppb |
○ | ○ | |
6 | 酸素 | Oxygen | O2 |
20.8% 〜 21.1% |
○ | ○ | |
Base | 窒素 | Nitrogen | N2 | — | Base | Base | Base |
# |
成分ガス名 Components |
化学式 Chemical Formula |
容量濃度 Volume Concentration |
代表的な混合例 | |||||
(1) | (2) | (3) | (4) | (5) | |||||
1 | 六フッ化硫黄 | Sulfur Hexafluoride | SF6 |
1ppt 〜 200ppt |
○ | ○ | ○ | ||
2 | フロン−12 | Freon 12 | CCI2F2 |
50ppt 〜 1000ppt |
○ | ○ | ○ | ||
3 | フロン−11 | Freon 11 | CCI3F |
50ppt 〜 1000ppt |
○ | ○ | ○ | ||
4 | フロン−113 | Freon 113 | C2CI3F3 |
15ppt 〜 1000ppt |
○ | ○ | ○ | ||
5 | 1,1,1ートリクロロエタン | 1,1,1-Trichloroethane | 1,1,1-C2H3CI3 |
50ppt 〜 1000ppt |
○ | ||||
6 | 亜酸化窒素 | Nitrous oxide | N2O |
300ppb 〜 1000ppb |
○ | ○ | |||
7 | 酸素 | Oxygen | O2 |
20.8% 〜 21.1% |
+(*) | +(*) | +(*) | +(*) | +(*) |
Base | 窒素 | Nitrogen | N2 | — | Base | Base | Base | Base | Base |