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標準ガスカタログ


弊社では、以下に記載されている成分の標準ガスを取り揃えています。
表は、6種類の代表的なベースガスについての製造可否データを兼ねております。表以外のベースガスをご希望の場合は、別途ご相談ください。
また、表のデータは2種混合の場合を想定していますので、3種混合以上の場合についても別途ご相談ください。

無機成分は上から、単元素、多元素化合物の順に記載しています。
有機成分は上から、代表的な名称を50音順で記載しています。
ベースガスの化学式の下に括弧で表示している「最高充填圧力」は、蒸気圧の影響を受けない場合の値です。蒸気圧の低い成分においては、濃度によって変わりますので、ご注意ください。
また、一酸化炭素(CO)を含む標準ガスの最高充填圧力は9.81MPaとなっていますので、ご了承願います。

「製造可能濃度範囲」は、が記されているものに対して適用され、×が記されているものは製造不可となっております。条件付で製造可になるものに関しては、具体的な「製造可能濃度範囲」もしくは、△を記しています。△のものに関しては、別途ご相談ください。

無機成分

成分ガス名
Components
化学式
Chemical
Formula
ベースガス(最高充填圧力:単位[MPa])
Base Gas
製造可能
濃度範囲
Conc. Grade
N2
(14.7)
Ar
(14.7)
He
(11.8)
H2
(11.8)
Air
(11.8)
O2
(9.81)
水素
Hydrogen
H2 100ppm

0.1%
1ppm

0.1%
1ppm〜50%
重水素
Heavy hydrogen (Deuterium)
D2 50ppm

20%
× × × 1ppm〜20%
ヘリウム
Helium
He 100ppm

50%
100ppm

50%
2000ppm

50%
10ppm〜50%
窒素
Nitrogen
N2 × 50ppm

50%
1ppm〜50%
酸素
Oxygen
O2 10ppm

0.1%
× 1ppm〜50%
ネオン
Neon
Ne 100ppm

50%
× 10ppm〜50%
塩素
Chlorine
CI2 100ppm超

30%
100ppm超

30%
× × × 10ppm〜30%
アルゴン
Argon
Ar 100ppm

50%
5ppm

50%
× 5ppm

50%
1ppm〜50%
キセノン
Xenon
Xe 1ppm

50%
10ppm〜50%
クリプトン
Krypton
Kr 1ppm

50%
5ppm

50%
100ppm〜50%
塩化水素
Hydrogen chloride
HCI × × 0.1%〜30%
臭化水素
Hydrogen bromide
HBr × × × 0.1%〜20%

Water
H2O × × 10ppm〜300ppm
硫化水素
Hydrogen sulfide
H2S × × 5ppm〜50%
一酸化炭素
Carbon monoxide
CO 1ppm

4.1%
1ppm

0.1%
1ppm〜50%
二酸化炭素(炭酸ガス)
Carbon dioxide
CO2 1ppm〜50%
二硫化炭素
Carbon disulfide
CS2 × × 5ppm〜2.5%
硫化カルボニル
Carbonyl sulfide
COS × × × 5ppm〜10%
一酸化窒素
Nitrogen monoxide
NO 500ppm

40%
500ppm

40%
× × × 0.1ppm〜50%
二酸化窒素
Nitrogen dioxide
NO2 500ppm

5%
500ppm

5%
× 500ppm

5%
5ppm〜5%
亜酸化窒素
Nitrous oxide
N2O × 1ppm〜50%
アンモニア
Ammonia
NH3 100ppm

50%
100ppm

50%
100ppm

50%
5ppm

0.1%
× 5ppm〜50%
亜硫酸ガス(二酸化硫黄)
Sulfur dioxide
SO2 0.2%

18%
0.2%

18%
× 0.2%

18%
0.1ppm〜18%
六フッ化硫黄
Sulfur hexafluoride
SF6 1ppm〜50%

有機成分

成分ガス名
Components
化学式
Chemical
Formula
ベースガス(最高充填圧力:単位[MPa])
Base Gas
製造可能
濃度範囲
Conc. Grade
N2
(14.7)
Ar
(14.7)
He
(11.8)
H2
(11.8)
Air
(11.8)
O2
(9.81)
アクリロニトリル
Acrylonitrile
CH2=CHCN × × × 100ppm〜0.75%
アクロレイン(アクリルアルデヒド)
Acrolein
CH2=CHCHO × × × 100ppm〜1.5%
アセチレン
Acetylene
C2H2 × 1ppm〜10%
アセトアルデヒド
Acetaldehyde
CH3CHO × × 100ppm〜7%
アセトン
Acetone
CH3COCH3 × × 10ppm〜1.5%
イソブタン
i-Butane
i-C4H10 1ppm〜24%
イソブテン
i-Butene
i-C4H8 10ppm〜20%
イソプレン(2-メチル-1,3-ブタジエン)
i-Prene
C5H8 × × 100ppm〜4.5%
イソプロピルアルコール
(2-プロパノール)

i-Propyl alcohol
i-C3H7OH × × 50ppm〜500ppm
イソプロピルクロライド
i-Propyl chloride
(CH3)2CHCI × × 100ppm〜4%
イソペンタン
(2-メチルブタン)

i-Pentane
i-C5H12 1ppm〜6%
HFO-1234yf
(2,3,3,3-テトラフルオロ-1-プロペン)

HFO-1234yf
CF3CFCH2 × 100ppm〜50%
エタン
Ethane
C2H6 1ppm〜50%
エチルアセチレン
(1-ブチン)

Ethylacetylene
C2H5C≡CH × × 50ppm〜10%
エチルアルコール
Ethyl alcohol
C2H5OH × × 10ppm〜0.2%
2−エチル−1−ブテン
2-Ethyl-1-butene
(C2H5)C4H7 × × 100ppm〜1%
エチルベンゼン
Ethylbenzene
C6H5C2H5 × 10ppm〜400ppm
エチルメルカプタン
Ethylmercaptan
C2H5SH × × 100ppm〜4%
エチレン
Ethylene
C2H4 1ppm〜50%
エチレンオキサイド
(酸化エチレン)

Ethylene oxide
C2H4O × × × 10ppm〜10%
塩化エチル
Chloroethane
C2H5CI × 10ppm〜10%
塩化ビニル
Vinyl chloride
CH2=CHCI × 10ppm〜10%
塩化メチル
Chloromethane
CH3CI × × 10ppm〜15%
オクタフルオロシクロペンテン
Octafluorocyclopentene
C5F8 × × × 10ppm〜1%
オルトキシレン
o-Xylene
o-C6H4(CH3)2 × 10ppm〜300ppm
蟻酸エチル
Ethyl formate
HCOOC2H5 × × 100ppm〜1.5%
蟻酸メチル
Methyl formate
HCOOCH3 × × 100ppm〜4%
クロロホルム
(トリクロロメタン)

Chloroform
CHCI3 × × 10ppm〜1%
酢酸エチル
Ethyl acetate
CH3COOC2H5 × × 100ppm〜0.5%
酢酸ビニル
Vinyl acetate
CH3COOCH=CH2 × × 100ppm〜0.5%
酢酸メチル
Methyl acetate
CH3COOCH3 × × 100ppm〜1%
ジエチルサルファイド
(硫化エチル)

Diethyl sulfide
(C2H5)2S × × 100ppm〜0.3%
シクロプロパン
Cyclopropane
(CH2)3 10ppm〜10%
シクロヘキサン
Cyclohexane
C6H12 50ppm〜0.5%
シクロヘキセン
Cyclohexene
C6H10 50ppm〜0.5%
1,1−ジクロロエタン
1,1-Dichloroethane
1,1-C2H4CI2 × × 10ppm〜1%
1,2−ジクロロエタン
(二塩化エチレン)

1,2-Dichloroethane
1,2-C2H4CI2 × × 10ppm〜0.5%
1,1−ジクロロエチレン
(塩化ビニリデン)

1,1-Dichloroethylene
1,1-C2H2CI2 × × 100ppm〜1%
ジクロロメタン(塩化メチレン)
Dichloromethane
CH2CI2 × × 50ppm〜3%
シス−1,2−ジクロロエチレン
cis-1,2-Dichloroethylene
cis-1,2-C2H2CI2 × × 10ppm〜1%
シス−2−ブテン
cis-2-Butene
cis-2-C4H8 × 10ppm〜18%
シス−2−ヘキセン
cis-2-Hexene
cis-2-C6H12 × × 100ppm〜1%
ジブロモメタン
(臭化メチレン)

Dibromomethane
CH2Br2 × × 100ppm〜0.25%
ジメチルアミン
Dimethylamine
(CH3)2NH × × 100ppm〜10%
ジメチルエーテル
Dimethyl ether
CH3OCH3 × × 50ppm〜10%
ジメチルサルファイド
(硫化メチル)

Dimethyl sulfide
(CH3)2S × × 5ppm〜3.9%
ジメチルジサルファイド
(二硫化メチル)

Dimethyl disulfide
(CH3)2S2 × × 10ppm〜0.1%
(目標値)
3,3−ジメチル−1−ブテン
3,3-Dimethyl-1-butene
CH3C(CH3)2CH=CH2 × × 0.3%〜3.4%
臭化エチル
Ethyl bromide
C2H5Br × × 200ppm〜3.5%
スチレン
Styrene
C6H5CH=CH2 × × × 10ppm〜200ppm
t-ブチルメルカプタン
(2-メチル-2-プロパンチオール)

tert-Butyl Mercaptan
(CH3)3CSH × × 100ppm〜0.1%
チオフェン
Thiophene
C4H4S × × 50ppm〜0.1%
トランス−1,2−ジクロロエチレン
trans-1,2-Dichloroethylene
trans-1,2-C2H2CI2 × × 100ppm〜1%
トランス−2−ブテン
trans-2-Butene
trans-2-C4H8 10ppm〜20%
トランス−2−ヘキセン
trans-2-Hexene
trans-2-C6H12 × × 100ppm〜0.2%
トリエチルアミン
Triethylamine
(C2H5)3N × × 100ppm〜0.4%
トリメチルアミン
Trimethylamine
(CH3)3N × × 100ppm〜10%
トルエン
Toluene
C6H5CH3 × 10ppm〜0.15%
ネオペンタン(2,2-ジメチルプロパン)
Neopentane
C(CH3)4 × × 100ppm〜1%
ノルマルブタン
n-Butane
n-C4H10 1ppm〜22%
ノルマルヘキサン
n-Hexane
n-C6H14 1ppm〜1.2%
ノルマルヘプタン
n-Heptane
n-C7H16 × × 100ppm〜0.25%
ノルマルペンタン
n-Pentane
n-C5H12 1ppm〜4%
パラキシレン
p-Xylene
p-C6H4(CH3)2 × 10ppm〜300ppm
1,2−ブタジエン
1,2-Butadiene
1,2-C4H6 100ppm〜2%
1,3−ブタジエン
1,3-Butadiene
1,3-C4H6 10ppm〜15%
1−ブテン
1-Butene
1-C4H8 10ppm〜22%
プロパジエン
(アレン)

Propadiene
CH2=C=CH2 10ppm〜10%
プロパン
Propane
C3H8 1ppm〜50%
プロピレン
Propylene
C3H6 1ppm〜50%
プロピレンオキサイド
(酸化プロピレン)

Propylene oxide
C3H6O × × × 100ppm〜0.1%
フロン−14
Freon 14
CF4 100ppm〜15%
フロン−23
Freon 23
CHF3 × × 50ppm〜10%
フロン−116
Freon 116
C2F6 100ppm〜10%
フロン−134a
Freon 134a
C2H2F4 × × 100ppm〜45%
フロン−218
Freon 218
C3F8 × × 100ppm〜10%
フロン−c318
Freon c318
C4F8 × × 100ppm〜10%
1−ヘキセン
1-Hexene
1-C6H12 × 100ppm〜1%
ベンゼン
Benzene
C6H6 × × 1ppm〜0.2%
1−ペンテン
1-Pentene
1-C5H10 × 200ppm〜2%
メタキシレン
m-Xylene
m-C6H4(CH3)2 × 10ppm〜300ppm
メタン
Methane
CH4 × 1ppm〜50%
メチルアセチレン
(アリレン)

Methylacetylene
CH3C≡CH × 10ppm〜10%
メチルアルコール
Methyl alcohol
CH3OH × × × 100ppm〜0.5%
メチルエチルケトン
(2-ブタノン)

Ethyl methyl ketone
CH3(C2H5)CO × × 100ppm〜0.5%
3−メチル−1−ブテン
3-Methyl-1-butene
(CH3)C4H7 × 0.2%〜2%
2−メチルペンタン
2-Methylpentane
(CH3)C5H11 × × 200ppm〜1%
3−メチル−1−ペンテン
3-Methyl-1-pentene
3-CH3-1-C5H9 × × 100ppm〜1%
メチルメルカプタン
Methylmercaptan
CH3SH × × 10ppm〜10%
モノメチルアミン
Methylamine
CH3NH2 × × 100ppm〜10%
ヨウ化エチル
Ethyl iodide
C2H5I × × 100ppm〜0.9%
ヨウ化メチル
Methyl iodide
CH3I × × 10ppm〜3%