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環境用標準ガスカタログ

環境用純ガス(Purity Gases)

製品名 環境用純窒素 環境用純ヘリウム
化学式 Chemical Formula N2 He
純度 Purity >99.99995 % >99.99995 %
不純物
Impurity
N2 <0.1 ppm
O2 <0.1 ppm <0.05 ppm
CO <0.1 ppm <0.02 ppm
CO2 <0.1 ppm <0.02 ppm
THC <0.05 ppm <0.01 ppm
NOx <0.01 ppm
SO2 <0.01 ppm
H2O <-80 ℃ <-80 ℃
TO-14成分 各成分 <10 ppt
但し、フロン−113及びトルエンは <100 ppt
容器 Cylinder Mn鋼 47 L
圧力 Pressure 14.7 MPa